预算1.21亿元！东南大学采购大批仪器

鹏哥

近日，东南大学发布37项仪器设备采购意向，预算总额达1.21亿元，涉及薄膜热应力测量仪、扫描电化学显微镜、汞探针测试仪、傅里叶红外光谱仪等，预计采购时间为2025年5~6月。

东南大学2025年5~6月仪器设备采购意向汇总表

采购 项目	需求概况	预算 万元	采购 时间
胶膜层压机	购置1套。实现各类衬底表面层压式贴膜工艺。最大压力不小于2 MPa，最高加热温度不小于180 oC。	320	2025年6月
Parylene沉积设备	购置1套。可实现在各类衬底上沉积Parylene薄膜，对晶圆进行钝化。腔体尺寸不小于12*12英寸。	50	2025年6月
薄膜热应力测量仪	购置1套。对衬底表面各类薄膜进行应力测量，测量范围1MPa-7.8GPa，应力测量精度< 1% 或0.32 MPa，翘曲扫描分辨率1微米。	302	2025年6月
扫描电化学显微镜	购置1套。用于检测晶圆电镀表面微区电化学过程，提供金属电镀机理信息。3D控制平台位移扫描范围：100 mm x 100 mm x 100 mm。扫描精度：X，Y，Z三轴均优于1 nm。	340	2025年6月
汞探针测试仪	购置1套。对薄膜电学性质进行无损检测。最高电压不低于250V，升降压速优于0 to 50 V/sec，载流子浓度测试范围优于1E14-1E19 carriers/cm³，测试精度≤2%，测试重复性≤0.50%，Hg 面积重复性≤0.20%，测试时汞用量小于36 uL。	340	2025年6月
傅里叶红外光谱仪	购置1套。对各类非金属薄膜采集红外吸收光谱，确定分子结构。光谱范围优于 8,000－400 cm-1，分辨率优于 0.2 cm-1，波数精度优于 0.01 cm-1，透光率精度优于 0.06%T，信/噪比高于 60,000：1。	230	2025年6月
12寸探针台	购置1套。对12寸及以下晶圆及样品进行电学测试，可控温度，具有电磁噪声屏蔽功能。XY精度优于±2微米，Z精度优于2微米，EMI屏蔽>30 dB@1 kHz-1 MHz，温度范围优于-60至200 oC，SMU测试单元分辨率优于0.1 fA。450kHz-1 MHz，温度范围优于-60至200 oC，SMU测试单元分辨率优于0.1 fA。	450	2025年6月
超声显微镜	购置1套。对多层晶圆内部的缺陷进行透视分析。可进行A、B、C三种超声波扫描，C型扫描层数>300，成像精度最小0.5 微米/像素，支持换能器频率范围1-400 MHz，ADC卡采样率1.25G/秒。	175	2025年6月
薄膜力学测量仪	购置1套。对衬底上薄膜弹性模量进行定量测试。频率范围2-250 MHz，膜厚范围 5 nm~600 微米，测量精度2*10E-5。	180	2025年6月
晶圆减薄机	购置1套。对12寸晶圆进行减薄加工，无晶圆碎裂，减薄后片内厚度偏差小于2.5微米。	800	2025年6月
12寸等离子增强气相沉积	具有三个以上12英寸晶圆沉积腔，可实现液体源的导入，可沉积SiO2,Si3N4,SiCN等薄膜，12英寸晶圆片内不均匀度小于5%。	1650	2025年6月
半导体器件脉冲电压电流测试系统	购置1套满足第三代半导体器件测试的脉冲电压电流（PIV）测试系统，要求最大脉冲电压1500V，最大脉冲电流33A，最小脉宽200ns。	150	2025年6月
MW级加压富氧燃烧平台	采购‌MW级加压富氧燃烧平台1套，包含装置主体‌1套（含反应器密相/稀相区、加压装置、气固分离装置、进料装置等子系统）、辅助系统1套（含控制系统、供氧系统、尾气处理单元、安全防护单元等）。 需实现MW级（0.1 ~ 1.5MW）燃料在加压（≤1MPa）富氧环境下的高效、稳定燃烧；支持氧气浓度可调（21% ~ 100%），适应不同燃料类型（如煤粉、生物质等），提供实时燃烧数据监测功能（温度、压力、氧浓度、排放物浓度等）。 设计与制造标准需符合ASME BPVC、GB/T 150《压力容器》等国际/国内标准，达到燃烧效率≥95%，热负荷波动范围≤±3%。 材料耐温≥1200℃，耐压能力≥1.5MPa（安全冗余设计）。整机质保期≥2年，关键部件质保期≥3年。	185	2025年5月
雷达信号收发器	1 雷达信号收发器 名称：雷达信号收发器实现功能：实现雷达信号的收发采集分析采购数量：1套采购需求概况：1、实现单台设备低频至毫米波频段的连续覆盖，支持宽带雷达信号的实时产生和采集接收。2、支持宽带雷达信号和模型的二次开发，支持第三方雷达信号模型，兼容FPGA资源的拓展开发。3、支持系统级的自校准，支持线损及时延的去嵌自校准。服务：要求现场培训。	436	2025年5月
高精度温湿度箱	购置1套。工艺参数测试和传感器测试表征。	120	2025年6月
高低温真空探针台	购置1套。为被测芯片提供一个低温或者高温的变温真空测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。	130	2025年6月
红外傅里叶光谱显微检测系统	购置1套。可以测微区的透射，反射的分子光谱，实现微区成分分析；可以测微区的发射试验，完成微区的发射波形，特征发射频率等表征。分析微纳结构的表面特性，反映出表界面的缺陷、化合物和温度分布特性。	171	2025年5月
荧光正置显微镜	购置3套 用于观察染色组织、细胞及荧光标记物。具有超长寿命荧光光源、荧光滤块灵活搭配、高分辨率荧光专用相机等。	102	2025年6月
高通量自动化移液工作站	购置2套 用于全自动液体处理工作，具有多功能的工作空间、自动化实验室耗材定位器、灵活的移液和实验流程管理等。	160	2025年6月
超高分辨率激光共聚焦显微镜	购置1套 用于超高分辨成像，具有超分辨视野、多激光、全自动荧光显微镜、活细胞培养等。	595	2025年6月
流式细胞仪	购置1套 用于细胞检测与分选，具有高灵敏度、高分辨率、多激光器等功能。	240	2025年6月
高分辨率活细胞工作站	购置1套 用于活细胞显微成像采集定时拍摄，在白光或荧光下观测活细胞的增殖、迁移、粘附等，进行细胞分析成像。	200	2025年6月
多功能成像仪	购置1套 用于多种样品如凝胶、印迹膜、多孔板、培养皿、玻片、组织切片、放射性同位素、比色样本等的高质量成像。	140	2025年6月
高通量分子互作仪	购置1套 用于实时、直接、动态的观测分子间相互作用的过程，分析多分子之间互作。	250	2025年6月
钨灯丝扫描电子显微镜	购置1套 用于观察、分析和记录材料的微观形貌，具有生物材料表面的超微观察。	205	2025年6月
全自动体视荧光显微镜	购置2套 用于生物样本成像，具有连续放大、多通道体视荧光采集、超长寿命荧光光源、高分辨率相机等。	170	2025年6月
超低温冰箱	购置32台 用于生物样本低温存储，能达到零下80度左右。	173	2025年6月
体视显微镜	购置包含LED双光纤冷光源 38套、普通体视显微镜 34套 用于生物样本观察。	227	2025年6月
台式高速冷冻离心机	17套 用于分子样品制备、纯化等，具有低噪音、高离心力、制冷等功能。	230	2025年6月
台式离心机	购置20套 用于分子样本制备、纯化，如质粒、基因组、RNA等。	124	2025年6月
超快光声光谱测量与成像系统	飞秒激光器，1套 超快光声测量与成像模块，1套。	300	2025年6月
微纳中心原位力学测试系统采购	原位力学测试系统，1台。	470	2025年5月
环境模拟实验装置舱体及系统集成	（1）采购标的名称：环境模拟实验装置舱体及系统集成。 （2）主要功能及目标：本标的是“极地与极端环境模拟实验设施预研”项目需建实验装置的组成部分，须配合实验装置系统设备购置共同实施。 本标的主要内容包括项目总体方案及施工图设计、项目预算编制、舱体系统及装置基础的加工制造与安装、配套设施建设，以及实验装置系统设备的集成安装调试、整体验收与交付。 （3）采购标的数量：1套。 （4）交货期：合同签订后250天内设备安装验收合格。 （5）采购标的需满足的质量、服务等要求：质保期3年及以上，终身提供维护保养技术服务。	2500	2025年