1.48亿元！多单位近期大批仪器采购意向

鹏哥

近日，zycgr发布24项仪器设备采购意向，预算总额达1.48亿元，涉及12英寸槽式湿法蚀刻机、12英寸后段湿法去胶机、12英寸单片RCA清洗机、12英寸晶圆预清洗机、高分辨率蛋白鉴定质谱仪等，预计采购时间为2025年7~10月。

Zycgr2025年7~10月仪器设备采购意向汇总表

采购 项目	需求概况	预算 万元	采购 时间
12英寸槽式湿法蚀刻机	主要用于III-V材料刻蚀，以及部分Si，SiN等物质的蚀刻工艺。机台为全自动boat type槽式湿法刻蚀机，要求配置多个花篮用于承接不同材质晶圆，有高温H3PO4， TMAH，III-V蚀刻液等化学品槽，且化学槽模块之间工艺独立，水槽不共用，避免交叉污染。要求良好的清洗效果和金属污染控制，有均匀的刻蚀能力以及流量、温度控制能力。	640	2025年10月
12英寸后段湿法去胶机	用于后段含金属暴露的、光刻胶灰化后的晶圆的有机污染物清洗，同时也用作电极制备lift off工艺中的光刻胶的去除。机台为全自动boat type槽式湿法刻蚀机，要求配有EKC，NMP，IPA/丙酮/乙醇化学槽对应不同去胶工艺。其中Lift off工艺槽要求配备双filter过滤系统，提高金属颗粒的洁净能力。要求良好的清洗效果，有均匀的刻蚀能力以及流量、温度控制能力。	560	2025年10月
12英寸单片RCA清洗机	主要用于含III-V与薄膜铌酸锂材质的晶圆的清洗工艺，以及前道湿法去胶工艺。机台为全自动单片式湿法清洗机，要求配备至少三个独立腔体，每个腔体具备标准RCA工艺（SPM+SC1+SC2+DHF），SPM出口温度大于120℃。每个腔体包含背部清洗工艺，公共传输区域（包括机械手、暂存区、翻转区等）需要做清洗前、清洗后路径分离。要求良好的清洗效果和金属污染控制，有均匀的刻蚀能力以及流量、温度控制能力。	850	2025年10月
12英寸晶圆预清洗机	用于CMP，炉管，薄膜前后对晶圆表面、背面及晶圆边缘的清洗。机台为全自动湿法预清洗机，要求配备4个腔体，包括三个正洗单元和一个背洗单元。分别对不同材质晶圆的正背面进行清洗。公共传输区域（包括机械手、暂存区、翻转区）需要做清洗前、清洗后路径分离。正洗单元要求配置有二流体喷嘴、高压jet喷嘴、rinse喷嘴和scrubber刷头，背洗单元要求配备二流体喷嘴、高压jet喷嘴、rinse喷嘴和晶边刷头。晶圆要有背喷保护。要求良好的清洗效果和金属污染控制。	270	2025年10月
800G ZR光模块	800G ZR光模块24个，作为自研高密度光传输设备的主要组成部分，支持单波800Gb/s的光传输速度，覆盖C4.8T全波段可调，适用于中短距高速光互连应用场景，用于搭建线路侧单纤DWDM 800G高密度大容量实时传输系统。	190	2025年7月
柴油发电装置采购项目	本采购项目包括柴油发电装置1套。主要包含柴油机舱1套；柴油机组1套；油箱1套。 1.耐海水压：设计压力7.2Mpa，耐海水压试验压力6Mpa； 2. 工作条件：4级海况下装置可正常工作 3. 发电机额定功率：200kW 4. 发电机额定电压：400V（三相交流） 5. 发电机额定转速：1500 rpm 6. 柴油机排气背压：≥10kPa 7. 燃油消耗率：≤230 g/kWh 8. 燃油种类：-10号、-20号普通柴油 9.柴油发电机启动方式：启动方式：电启动 10.柴油发电机可承受倾斜角度：不小于横倾15°、横摇22.5°纵倾7.5°、纵摇10° 11.油箱容积：≥5m³ 12.燃油流量计测量精度：燃油流量计测量精度 13.噪声要求：≤110dB（A）（空气中）。	408	2025年8月
折叠桅杆装置采购项目	本采购项目包括折叠桅杆装置1套。含相应的旋转密封装置。 1.耐海水压：设计压力7.2Mpa，耐海水压试验压力6Mpa； 2. 工作条件： 桅杆竖起状态：4级海况下可正常工作 桅杆折倒状态：高速航行时不脱落 3.桅杆折叠角度：0-90° 4.桅杆竖起时间：≤100s（旋转角度0-90°） 5.桅杆折叠时间：≤100s（旋转角度0-90°） 6.桅杆锁紧时间：≤6 s 7.桅杆解锁时间：≤6 s 8.桅杆可折叠次数：≥1000次 9.桅杆竖起高度：≥3000 mm 10. 噪声要求：≤110dB（A）（空气中）。	160	2025年8月
惯性导航单元采购项目	本采购项目包括：惯性导航单元1套； 1.工作电压：729～967VDC； 2.调速范围：-1000rpm至+1000rpm； 3.耐水压：设计压力7.2Mpa，耐水压试验压力6Mpa； 4.输出功率、转速：2.5kW@100rpm。	155	2025年8月
压载水舱模块采购项目	本采购项目包括：压载水舱模块2套，含艏部压载水舱1套和艉部压载水舱1套； 1.工作电压：705～980VDC； 2.净容积：艏部压载水舱净容积2m³，艉部压载水舱净容积3m³； 3.耐水压：设计压力7.2Mpa，耐水压试验压力6Mpa。	390	2025年8月
易布放固定观测平台加工采购项目	本次采购项目包括易布放固定观测平台（标准型）加工4套；易布放固定观测平台（声速型）加工1套。	242	2025年8月
流式质谱系统前期研发项目	为满足蛋白和代谢组的高通链分析，拟研发流式质谱系统，相色谱质谱飞行时间质谱等质谱设备等多种质谱设备。流式质谱系统具有单细胞/单粒子精准进样系统，实现超高效率的样品传输与离子化；高通量高密度离子源设计，确保样品离子化的稳定性和重现性；宽质量范围离子传输与纯化系统，集成偏转电场和陷波滤波技术，实现高质量分辨率的离子筛选；高灵敏度无网反射式飞行时间质量分析器实现高信噪比的信号采集。液相色谱飞行时间质谱主要用于非靶向代谢组学的检测，具有高分辨和高质量精度的特点，四级杆前端的离子筛选能力结合TOF检测器的宽线性响应，具有四级杆选择碎裂模块，离子趟度模块和高压液相色谱。	600	2025年9月
高分辨率蛋白鉴定质谱仪	为了满足病原样本和感染样本的蛋白质组学分析，拟采购高分辨蛋白鉴定质谱已实现蛋白质组的深度鉴定和高通量分析。该设备主要配备nano液相，离子淌度，和高分辨质量分析等功能模块，可实现PASEF的检测模式。亦可用于自研国产设备的对标检测。	1250	2025年10月
光学测试系统	用于无源光器件的O+CL波段的IL、RL和PDL测试。	270	2025年8月
全自动晶圆级光电测试台	支持 OO、OE、EO、EE 晶圆级批量自动测试，覆盖硅光无源/有源器件性能验证	700	2025年8月
电池组采购项目	本采购项目包括：潜航器锂离子电源系统1套； 1.工作电压：705VDC～980VDC； 2.标称电压：870.4VDC； 3.额定能量：2800kWh； 4高压输出：2800kW@870.4VDC； 5.低压输出：10kW@48VDC 4kW@24VDC，UPS应急输出：0.5kW@24VDC； 6.充电功率：200kW（支持柴油发电机、岸基）。	561	2025年8月
C+L波段WSS波长选择开关模块	拟采购C+L波段WSS波长选择开关模块共65个，用于合分波、线路测波长双向均衡、波道填充以及万波交换。	902	2025年8月
400G CFP2-DCO光模块采购项目	拟采购400G CFP2-DCO光模块共160个，用于高速信号收发。	1760	2025年8月
光合荧光测量仪	可用于从事植物叶片光合作用、蒸腾作用、呼吸作用、叶绿素荧光等相关研究。包含系统控制主机，CO2/H2O传感器头，荧光叶室， 三脚架，锂电池，充电器，背带，配件箱，耗材等。	340	2025年8月
某单位实验平台厂务设施运维服务采购	实验平台厂务设施运维服务。	800	2025年8月
水下推进器系统采购项目	本采购项目包括水下推进器系统80套，水下推进器系统包含水下推进器、控制器、补偿器、水密缆。推进器系统推力≥5kgf，重量≤1.5kg，额定电压24VDC，额定功率≤170W。	120	2025年8月
温盐深传感器采购项目	本采购项目包括温盐深传感器80套。传感器重量≤1.2kg，采用12V供电，RS232通讯，工作水深≥1500m。（1）温度：范围-5～+42℃、准确度±0.001℃、分辨率0.0001℃、稳定性0.002°C(每年)； （2）电导率：范围0～90mS/cm、准确度±0.002mS/cm、分辨率0.0001mS/cm、稳定性0.003mS/cm(每月)；（3）压力：范围0～20MPa、准确度±0.05%F.S.、分辨率0.001%F.S.、稳定性0.1% F.S.(每年)。	768	2025年8月
浮力驱动系统采购项目	本采购项目包括专用浮力驱动单元80套，浮力驱动系统重量≤12.5kg，浮力调节量≥1.4L，工作压力≥15MPa。	877	2025年8月
专用电池组采购项目	本采购项目包括专用锂亚电池组80套，额定电压28.8V，容量不小于12kWh，电池组由A、B两个单元组成，单元A质量≤15.5kg，单元B质量≤14.5kg。	792	2025年8月
耐压主壳体采购项目	本采购项目包括耐压主壳体80套，耐压主壳体外径240mm，长度2400mm，工作压力不小于13MPa；运输箱80套，运输箱外尺寸≤2950×450×580mm，箱体内尺寸≥ 2850×370×500mm。	1216	2025年8月